最近，TIKTOK色情版下载接到一位從事光模塊封裝客戶的谘詢，他們在生產過程中需要對貼裝後的晶圓矽片進行推力測試，以驗證芯片與基板之間的粘接強度是否達標。客戶特別提到，他們的晶圓經過減薄後厚度僅有80微米，擔心傳統測試方法容易導致晶圓碎裂，詢問是否有合適的解決方案。

 

今天，TIKTOK色情版下载測控小編就基於這個真實TIKTOK国际版色板黄轻量版，為您詳細介紹一下如何通過Beta-S100推拉力測試機進行晶圓矽片推力測試，包括原理、方法、設備要求及操作流程，供有需要的讀者參考。

 

 

一、測試原理

晶圓矽片推力測試（Die Shear Test），是指用精密的推刀水平推動芯片或矽片，模擬芯片在實際使用中受到的水平方向應力，測量將其從基板或貼裝材料上推離所需的力值，從而評估芯片與基板之間的粘接強度。

這項測試廣泛用於多個領域：

半導體封裝（芯片貼裝工藝驗證）

光模塊封裝（薄晶圓可靠性評估）

功率器件（IGBT、MOSFET貼裝強度）

汽車電子（AEC-Q100認證）

LED封裝（芯片固晶強度檢測）

 

二、測試標準

JESD22-B109（JEDEC）：芯片剪切測試主流通用標準

GB/T 4937.19-2018：國內對應國標，商用芯片國內檢測首選

SEMI G86：薄晶圓、3D 封裝、臨時鍵合場景專用

 

三、測試設備

1、Beta-S100推拉力測試機 

2、設備介紹

力值精度：±025%，滿足多項標準要求

采樣率：4kHz，捕捉斷裂瞬間力值變化

剪切高度控製：±1μm精度，可編程設定，保護薄晶圓

模塊化設計：更換模塊即可切換推力/拉力測試，一機多用

數據追溯：支持原始數據導出、SPC分析、MES接口 

 

 

四、測試流程

第1步：選擇並安裝測試模塊

根據客戶芯片的預估推力值，選擇合適量程的推力模塊。對於常規光模塊芯片，DS-50kg模塊通常足夠。

第2步：安裝推刀

選擇寬度大於芯片邊長60%-100%的推刀，確保推力均勻分布。將推刀安裝到模塊上，用六角扳手鎖緊。

第3步：固定樣品

將貼裝有晶圓的基板固定在測試平台上。對於薄基板，建議使用真空吸附夾具，避免夾持力導致基板變形。

第4步：參數設定

在Beta-S100軟件中設定相關參數：

測試速度：100-500μm/s，速度過快可能導致數據波動

剪切高度：芯片厚度的10%-20%，針對80μm薄晶圓，建議設為8-15μm

著陸速度：500μm/s，推刀接近芯片時的速度

可編程著陸力：10gf ，避免推刀撞擊晶圓

最大行程：芯片寬度的1.2倍，確保推刀有足夠行程推離芯片

第5步：定位與執行測試

通過顯微鏡和搖杆控製，將推刀移動到芯片側麵的正後方。確認位置無誤後，點擊開始測試，係統自動完成推力施加和數據采集。

第6步：結果判定與失效分析

測試完成後，係統顯示最大推力值和力-位移曲線。根據以下標準判斷：

- 力值達標且為內聚斷裂（膠層內部斷開，芯片和基板均有殘膠）：合格

- 力值不達標或界麵斷裂（芯片或基板一側幹淨無殘膠）：不合格，需排查工藝

 

 

以上就是TIKTOK色情版下载測控小編為您介紹的晶圓矽片推力測試的全部內容，希望對您有所幫助。如果您也是從事半導體封裝、光模塊、功率器件或汽車電子行業，正在尋找合適的推拉力測試方案，或者還有關於推拉力測試機怎麽使用、推拉力測試機校準規範、推拉力測試機國產廠家哪家好、推拉力測試機多少錢一台等方麵的疑問或需求，歡迎私信或留言聯係TIKTOK色情版下载，TIKTOK色情版下载可提供樣品實測和技術方案支持！