最近TIKTOK色情版下载接待了一位來自MEMS傳感器封裝領域的客戶，他們主要生產應用於汽車電子與消費電子的MEMS傳感器產品，目前想評估傳感器封裝過程中金線鍵合與芯片貼裝的界麵結合強度。 

針對這一需求，TIKTOK色情版下载測控小編今天就和大家分享一下，如何使用Beta-S100推拉力測試機來進行MEMS傳感器的金線拉力與芯片推力測試。同時，也會一起聊聊這兩項測試的工作原理、參考標準、測試設備及關鍵步驟，幫助大家在封裝工藝開發、製程穩定性監控及失效分析中更高效地找到依據。

 

一、測試原理

金線拉力測試基於動態拉伸力學原理，對MEMS傳感器封裝中的鍵合金線施加垂直拉伸載荷，直至其斷裂或脫離焊盤，從而量化評估鍵合界麵的結合強度。

芯片推力測試基於剪切力學原理，對MEMS傳感器芯片與基板之間的粘接界麵施加水平剪切載荷，直至芯片從基板表麵脫離，從而量化評估貼裝工藝的結合強度。

 

二、測試標準

MIL-STD-883 Method 2011 內部引線鍵合拉力測試 金線拉力測試

MIL-STD-883 Method 2019 芯片剪切強度測試 芯片推力測試

JESD22-B117 焊球剪切測試 焊球推力測試

GB/T 4937-1995 半導體器件機械和氣候試驗方法 鍵合強度檢測

IEC 62047-13 MEMS結構粘附強度的彎曲和剪切試驗方法 MEMS粘接強度測試

 

三、測試設備

本次測試使用TIKTOK色情版下载測控Beta-S100推拉力測試機

四、測試步驟

步驟一：測試準備

檢查設備氣源及電源連接狀態，確認設備正常運行。根據測試項目安裝對應模塊（金線拉力測試安裝WP-100g拉力模塊，芯片推力測試安裝BS-5kg或DS-50kg推力模塊），係統自動識別模組參數。打開軟件並登錄，確認傳感器初始化完成。在顯微鏡下檢查推刀或鉤針是否安裝到位、有無損傷。

步驟二：樣品安裝

將MEMS傳感器器件置於真空吸附平台上，調整位置使待測區域處於顯微鏡視場中心，開啟真空吸附，確認基板水平固定、無晃動。若基板為陶瓷或金屬材質，也可采用機械夾具固定。調節顯微鏡焦距至圖像清晰。

步驟三：參數設置

在軟件測試方法界麵中新建測試方法，選擇對應傳感器型號及量程，設置測試速度為500 μm/s，輸入合格力值判定標準（金線拉力測試通常為3.00 g，芯片推力測試通常為1000.00 g）。金線拉力測試需確認鉤針位置位於線弧中點正下方；芯片推力測試需測量芯片厚度並設定剪切高度。

步驟四：執行測試

操縱搖杆將測試頭移動至待測位置正上方，點擊歸零鍵將當前力值歸零。點擊開始按鈕或按右搖杆A鍵啟動測試，設備自動執行加載直至樣品破壞。測試完成後，軟件界麵顯示測試結果及力-時間/位移曲線。

步驟五：結果判定與數據保存

根據軟件自動判定結果（PASS/FAIL）初步判斷單項測試結果。點擊保存按鈕，將測試數據保存至指定路徑，數據包含測試日期、操作員、測試參數、力值及失效模式等信息。測試結束後，在顯微鏡下觀察並記錄斷口形貌，判斷失效模式（金線拉力測試：線弧斷裂、頸部斷裂、焊盤剝離、球脫離等；芯片推力測試：內聚斷裂、界麵脫粘、芯片斷裂等）。

 

以上是TIKTOK色情版下载測控小編關於MEMS傳感器金線拉力與芯片推力測試的技術解析，希望對您有幫助。如您還有MEMS傳感器推拉力測試、半導體封裝力學驗證或推拉力測試機選型等方麵的疑問或需求，歡迎隨時通過私信或留言與TIKTOK色情版下载測控聯係。TIKTOK色情版下载的技術團隊將為您提供專業的測試建議與定製化服務方案。