一、什麽是高頻超聲鍵合？

高頻超聲鍵合是指將超聲頻率提升至100kHz~250kHz範圍內進行的引線鍵合工藝，相較於傳統60kHz超聲鍵合技術而言，該技術通過在更高頻率下施加超聲能量，使金屬引線（金線、銅線、鋁線）與芯片焊盤實現固態連接。

 

二、高頻超聲鍵合工作原理

高頻超聲鍵合的基本原理與傳統超聲鍵合一致，但由於頻率提升，其物理機製呈現以下特點：

2.1 超聲軟化效應

超聲能量使金屬內部晶格振動加劇，金屬表現出軟化現象，在機械壓力作用下發生塑性變形。Langenecker的研究證實，在高達1MHz頻率下超聲軟化現象依然存在。

2.2 應變速率效應

較高頻率下，傳遞至引線的剪切振動產生更高的應變速率，使引線材料中應力升高。這一機製可能導致引線形變減少，而更多能量傳遞至焊接界麵，從而在較低形變條件下形成牢固鍵合。

2.3 擴散加速效應

較高頻率可加速金屬相互擴散過程，促進更高質量的金屬焊接形成，對於異種金屬（如Au-Al體係）可形成更完整的金屬間化合物層。

 

三、高頻超聲鍵合工藝優勢

3.1 設備動態性能提升

小型高頻換能器具有較小的質量與慣性，可實現更快的運行速度，適用於高速自動化生產場景。

3.2 鍵合質量改善

- 金屬飛濺減少：120kHz頻率下鍵合周邊金屬飛濺顯著減少，有助於提高工藝潔淨度

- 鍵合時間縮短：高頻條件下可在更短鍵合時間內獲得更高良率

- 低溫鍵合能力：在100kHz、140kHz、250kHz等較高頻率下，可在50℃低溫條件下實現優質金球形鍵合，其中250kHz頻率可獲得最佳剪切強度

3.3 特殊材料適應性

高頻超聲在難以鍵合的焊盤材料（如軟基材、聚酰亞胺、PTFE等）上表現出更好的鍵合特性。研究推測，聚合物材料在高頻下吸收的超聲能量較少，從而使更多能量集中於鍵合界麵，改善鍵合效果。

 

四、高頻超聲鍵合頻率範圍

 

 

 

五、高頻超聲鍵合質量評價

鍵合質量受超聲頻率、功率、壓力、時間、材料表麵狀態及工具狀態等多因素耦合影響。在工程實踐中，推拉力測試是評價引線鍵合質量最直接、最廣泛應用的檢測手段。通過專用設備——推拉力測試機，對鍵合點施加剪切力或拉伸載荷，定量測定鍵合界麵的機械強度：

推力測試：主要用於球形鍵合點的質量評價，記錄焊球脫離焊盤時的最大剪切力。

拉力測試：主要用於楔形鍵合及線弧強度評價，測得引線斷裂或鍵合點脫離時的最大拉力值。

 

 

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